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光谱型椭圆偏振仪招标公告

招标编号：
加入日期：****.**.**
截止日期：****.**.**
招标代理：
地区：福建省
内容：

*、招标文书编号：FJKB*******(****闽财购计[****-*]号)
*、招标项目内容：**师范大学“光谱型椭圆偏振仪”公开招标
项目名称项目类型用途数量简要技术指标采购单位联系电话地址
光谱型椭圆偏振仪实验室设备科研 * 一、技术规格及要求
合同包*：品目号*-* 光谱型椭圆偏振仪
用途：用于测量单层或多层薄膜厚度d；单层或多层薄膜各层光学常数的测量，如折射率n 及消光系数k；反射率及透射率的测量；光学带宽的测量；同时分析不同温度和不同波长对样品光学系数的影响。能实时获取纳米薄膜的表面或界面信息和纪录快速**学过程的测量和显示技术，它具有物理意义直观、分辨率高、检测速度快。
技术参数
*.* 主机技术要求
*.* 波长范围：***nm～****nm，光谱分辨率优于*nm。（波长范围需要满足金属、半导体、聚合物薄膜材料的测量）
波长分辨率：*.*nm；线宽：*nm；
*.* 入射角范围：**°或入射角在**°到**°手动/自动连续可调（入射角范围需要满足以Si、玻璃和ITO玻璃作为基体的测量）。
入射光角度准确度：± *.*°
入射光角度重复性：± *.***°
*.* 基座：所有的基座包含*轴样品对准，X、Y(俯仰)分辨率: *.***°，Z(高度)分辨率: * μm
*.* 样品加热器：在升温条件下测量样品。加热台用光学玻璃封闭，包含温度控制器和内建于样品腔室内的测温热电偶，温度: 室温～***℃（满足样品折射率等光学参数随温度变化的曲线测量）。
*.* 主机性能要求
*.* 测量时间：测量整个光谱范围**秒钟以内(测量整个仪器标称光谱范围，分辨率优于*nm）。
*.* 光束直径：*mm～*mm
*.* 光速发散度：<*.*°
*.* 椭偏量参数测量范围：Δ（*～***°）；Ψ（*～**°）；无死区。
*.* 测量准确度：**%以上的被测点满足 Δ≤*°±*.**°；Ψ≤**°±*.***°（直射状态下测量空气）；
*.* 测量重复性：直射状态下测量空气**次，每次测量平均时间为**秒，δΨ = *.***°，δΔ = *.***°；折射率测量的重复性优于*.***；膜厚测量的重复性优于*.**Å（**次SiO*厚度测量的标准偏差，样品为带有自然氧化层的硅片）；
*.* 样品尺寸：**×**mm～***×***mm，满足薄膜样品厚度*nm～* μm的测量，同时满足**nm以下超薄膜的测量；
*.* 能够测量LB制膜机制备的交替超薄膜中每一种薄膜的折射率等光学参数和厚度。
*.* 样品台
*.* 所有的样品台包含*轴样品对准，X, Y, Z可精密调节；
*.* X、Y (俯仰)分辨率：*.***°；
*.* Z (高度)分辨率：* μm；
*.* 软件要求
*.* 样品自动对焦；
*.* 自动调零和分析，无需任何手工操作；
*.* 基于Windows XP系统，操作方便，图形界面；
*.* 材料库全、色散模型多、功能强；
*.* 提供软件语言接口，预设多种标准测量模式，由用户自定义测量方法，实现简单一键操作功能；
*.* 软件同时满足用于在线测试和分析数据以及离线分析数据；
*.* 计算机
CPU：≥PIV(HT) *.*GHz / 内存：≥ * GB / 硬盘：≥*** GB / 显示器： **寸彩色液晶显示器，最小显示范围：***×*** pixels / 显卡：独立，显存≥**MB / 光驱： CD-RW可擦写光驱 / ***M网卡，**K Modem，*D鼠标 / 含USB口
*.* 备件：提供*套备用灯，提供各种尺寸的片基（硅晶片、玻璃及ITO）等耗材，工具包。
**师范大学 ******** ******上三路*号

*、发售招标文件时间： ****-**-**至****-**-**
*、发售招标文件地点： ***杨**路*号宏建大厦*层
*、联系人：陈强
*、联系电话： ******** 传真： ****-********
公司网址： E-mail：
*、投标人资格：凡有能力提供本招标文件所述货物及服务的，具有法人资格的境内供货商或制造商均可能成为合格的投标人。
*、投标截标时间： ****-**-** **:**:**(**时间)
*、开标时间： ****-**-** **:**:**(**时间)
**、开标地点： ***工业路***号**高新技术创业园一号楼南侧一层第一会议室
**、标书售价及要求：招标文件(纸质版或电子版)售价为***元人民币；如需邮购，请另加**元人民币；招标文件售后不退。
**、开户银行：中国农业银行**东街支行
开户名称： ***科洪高技术开发中心
银行帐号： ***************

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